「環境技術」2004年11月号 記事情報

掲載年 2004
巻(Vol.) 33
号(No.) 11
847 - 851
記事種類 特集記事
記事タイトル 高濃度オゾンガスを用いたプリント配線板デスミア処理技術
著 者 齊藤禎司
第1著者ヨミ さいとう
第1著者所属 三菱電機(株)
要 旨 キーワード:洗浄処理技術,デスミア処理,オゾン処理,氷酢酸
特集タイトル オゾン促進酸化法の技術展開と適用
特集のねらい